제품 설명
1200도 3개 가열 구역 CVD 진공 회전식 관형로는 3개의 독립적인 온도 제어 구역, 회전식 반응관, 고진공 시스템 및 정밀 가스 공급 장치를 통합합니다. 분할된 열 구배 및 완전 회전식 설계는 진공 분위기에서 분말 및 입상 기판에 매우-균일한 박막 코팅을 제공합니다. 최대 온도 1200도, 정확한 온도 및 가스 흐름 제어, 신에너지, 반도체 및 나노 물질의 CVD 합성에 이상적입니다.
기술적인 매개변수
1200C 3개의 가열 구역 CVD 진공 회전식 관형로
| 모델 | SK2-XY-12TPR |
| 최대설계(도) | 1200 |
| 작동 온도(도) | 0-1100 |
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튜브 직경(mm) D x W x H(mm) |
100mm |
| 가열부 길이(mm) | 200+200+200mm |
| 전압(V) | 220V 단상 |
| 열전대 유형 | K |
| 최대진공 | -0.1MPa |
| 가열 속도 | 0-20C/분 |
| 온도 정밀도 | ±1도 |
| 퍼니스 챔버 재료 | 1430도 등급 알루미나 세라믹 섬유질 내화물 챔버 |
| 입구 가스/분위기 | 양방향 플로트 유량계 공기 흡입 시스템, 최대 양압이 0.02Mpa를 초과하지 않음 |
| 가스 제어 | 사진 속 제품은 공기 흡입구와 배기구가 있으며 볼 밸브가 달려있습니다. 양쪽 끝을 진공 펌프에 연결하거나 유량계를 추가할 수 있습니다. |
| 진공 시스템 | 단일-스테이지 로터리 베인 펌프 최대 압력: 5Pa 로의 최대 진공: -0.1MPa 벨로우즈, 볼 밸브 및 클램프를 사용한 밀봉 연결 |
| 밀봉 방식 | 장비 케이스는 탄소강과 304 스테인리스강 플랜지로 제작되어 개방형이며 설치 및 제거가 쉽습니다. 케이싱은 산화, 산, 알칼리에 강하고 이중 밀봉 기능을 갖추고 있습니다. |
| 온도 제어 보안 | 30개의 프로그래밍 가능한 PID 자체 조정, 자동 온도 상승, 자동 온도 하강, 의무 없음 기능을 갖춘 국제 고급 yudian 518P 온도 컨트롤러를 채택하십시오. |
| 온도 조절기 | 터치스크린 모델. 고급 온도 계측기를 채택하여 높은 온도 제어 정확도, SSR 제어, PID 매개변수 자체 조정 기능을 갖춘 50개의 세그먼트 프로그램을 설정할 수 있습니다.{2}} 프로그램 온도 상승, 프로그램 보온, 프로그램 냉각 |
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표준 액세서리 석영 튜브|SS 플랜지|진공 펌프|열 장갑|도가니 집게|열전대|사용자 설명서 |도구 | |
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| 인증:CE, ISO, SGS 요법, 30개 이상의 특허 인증 | ||||
| 보증:1-년 보증(마모 부품 제외) 및 장기-기술 지원 |
제품 세부정보
회사소개
우리는 고온로 전문가입니다
이 회사는 실험실 고온 전기로 설계 분야의 세계적인 선두업체로 인정받고 있으며 탁월한 품질의 제품과 서비스를 제공합니다.
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1K +완료된 프로젝트1,000개의 완전한 작업
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30 +우리 전문가전문 고온로
인증
명예와 자격
공식 인증, 전문 애프터 서비스.
CE
CE
CE
ISO9001
SGS
사용상의 주의사항:
퍼니스 튜브의 가스 압력은 0.02MPa보다 높을 수 없습니다.
·가스 실린더 내부의 가스 압력이 높기 때문에 가스가 화로 튜브에 유입될 때 가스 실린더에 감압 밸브를 설치해야 합니다. 안전을 위해 0.02MPa 이하의 압력을 사용하는 것을 권장합니다. 당사에서 감압밸브를 구입하실 것을 권장합니다. 당사 감압밸브의 범위는 0.01MPa~0.1MPa로 사용시 더욱 정확하고 안전합니다. 노 본체 온도가 1000도보다 높으면 노 튜브는 진공 상태에 있을 수 없으며 노 튜브의 가스 압력은 대기압과 동일해야 합니다.
·가열된 석영 튜브에 차가운 공기 흐름이 미치는 영향을 피하기 위해 퍼니스 튜브로 들어가는 가스 유량은 200SCCM 미만이어야 합니다.
·석영관의-장기 사용 온도는 다음과 같습니다.<1100℃.
·샘플 가열 실험의 경우, 퍼니스 튜브의 플랜지 끝 부분에 있는 배기 밸브와 공기 흡입 밸브를 닫는 것은 권장하지 않습니다. 샘플을 가열하기 위해 가스 밸브를 닫아야 하는 경우 항상 압력 게이지에 주의를 기울여야 합니다. 압력 판독값이 0.02MPa보다 큰 경우 사고(예: 노 튜브 파열, 플랜지 튀어나옴 등)를 방지하기 위해 즉시 에어 릴리프 밸브를 열어야 합니다.
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