챔버 이동로 제품 설명

챔버 이동식 퍼니스 슬라이딩 튜브 퍼니스는 특히 빠른 열 처리 및 빠른 냉각이 필요한 경우에 적합하며 반도체 제조에 널리 사용됩니다. 온도 구역 설계는 독립적인 온도 제어 및 느린 냉각을 허용하며 슬라이딩을 통해 실현됩니다. 30개 섹션의 온도 시간 프로그램, 정밀한 제어, 정확도 ±1도; 테이블 캐비닛 디자인, 인체공학적. 모바일 풀리 설계로 쉽게 이동할 수 있습니다.

슬라이딩 튜브로의 제품 특징

최대 1.1200C, 연속 작동 온도는 1100C입니다.

2. 고온 구역 설계, 튜브 직경 OD40~300mm 선택 가능, 가열 구역 205/350/440mm 또는 맞춤형 선택 가능
3. 슬라이딩 도어 디자인으로 재료 관찰 및 튜브 삽입에 편리함
4.50-단계 온도-시간 제어 프로그램, 정확도 ±1도, 터치 스크린 옵션
5. 전압계와 전류계가 포함되어 있어 문제 해결이 쉽습니다.
6. 테이블 디자인, 재료를 놓기 쉬움
7. 슬라이딩 안정성
8. 불활성 분위기로 채울 수 있고 진공이 가능합니다.

챔버 이동로의 세부 사항

표준 포장 액세서리

패키지에 표준 부품이 들어있습니다.

진공펌프

진공은 최대 -0.1Mpa입니다.

필요에 따라 챔버 이동 가능

소결이 완료된 후, 로 본체를 이동하면 샘플을 빠르게 냉각할 수 있습니다.

로 본체 브라켓

인체공학적 디자인의 책상, 편리한 자료 보관, 브레이크 기능이 있는 바퀴로 쉽게 이동할 수 있음.

슬라이딩 튜브로 SK2 시리즈의 제품 사양

온도	최대 1200도, 연속작업 1100도
가열 구역	OD40mm, 존 길이 205mm 또는 사용자 정의 가능
가열 속도	30도/분 이하(할로겐관의 경우 300도/분)
가열소자	HRE 저항선(할로겐관 가능)
방	1430도 등급 알루미나 세라믹 섬유 내화 챔버
온도 조절기	Yudian 온도 컨트롤러, PID 제어, 30세그먼트 온도-시간 프로그램;±1도 정확도;과열 보호, 열전대 고장 알람, 독립 제어(터치스크린 버전 옵션)
로 슬라이딩	지원(수동 및 전자식 옵션)
튜브 소재	고순도 석영
힘	난방 구역 선택+온도, 전압/위상은 전적으로 고객의 현지 시설 환경에 따라 달라질 수 있습니다.
바퀴	포함됨
분위기가 가득하다	지원하다
진공펌프	선택 과목
최대 진공	-0.1Mpa 또는 고객의 지시에 따라
보증	1년 보증 및 평생 지원(소모품 제외)
인증	CE, ISO9001:2016, SGS

챔버 이동로의 따뜻한 팁

1. 로관내의 공기압은 0.02MPa보다 높아서는 아니 된다.

2. 가스통 내부 공기압이 높으므로 가스를 퍼니스 튜브에 공급할 때 가스통에 감압 밸브를 설치해야 합니다. 안전을 위해 0.02MPa보다 낮은 압력을 사용하는 것이 좋습니다.

3. 로체 온도가 1000도 이상일 경우 로관은 진공상태가 되지 아니하며 로관내의 압력은 대기압과 동일하여야 한다.

4. 뜨거운 로 튜브에 차가운 공기 흐름이 영향을 미치지 않도록 로 튜브로의 가스 흐름은 200SCCM 이하이어야 합니다.

5. 샘플 가열 실험의 경우, 퍼니스 튜브의 플랜지 끝에서 공기 추출 밸브와 공기 유입 밸브를 닫는 것은 권장되지 않습니다. 샘플을 가열하기 위해 가스 밸브를 닫아야 하는 경우 항상 압력계의 지시에 주의하십시오. 공기 압력 지시가 0.02MPa보다 큰 경우 사고(퍼니스 튜브 파열, 플랜지 날아감 등)를 방지하기 위해 배기 밸브를 즉시 열어야 합니다.