MFC 시스템을 갖춘 1700C 고진공 CVD 관상로
MFC 시스템을 갖춘 1700C 고진공 CVD 관상로

MFC 시스템을 갖춘 1700C 고진공 CVD 관상로

최대 온도: 1700C
가열 구역: Φ100*200mm
튜브 재질:고순도 알루미나 튜브 튜브
2 MFC 시스템
고진공 시스템
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제품 설명

MFC 시스템을 갖춘 1700C 고진공 CVD 관상로는 전도성 전극 수냉식 플랜지, 일치하는 2-채널 MFC 정밀 가스 흐름 제어 시스템 및 완벽한 이중 ​​단계 회전 날개 진공 펌프 장치로 맞춤 제작되었습니다. 실험실 재료 연구, 세라믹 소결, CVD 증착, 리튬 배터리 재료 하소에 널리 사용되는 진공, 불활성, 환원 분위기 및 전기 가열 공정을 지원합니다.

 

기술적인 매개변수

 

MFC 시스템을 갖춘 1700C 고진공 CVD 관상로

모델 SK2-XY-17TPD2
최대설계(도) 1700
작동 온도(도) 0-1600

튜브 직경(mm)

D x W x H(mm)

100mm
가열부 길이(mm) 200mm
전압(V) 220V 단상
열전대 유형 K
최대진공 10Pa
가열 속도 0-5C/분
온도 정밀도 ±1도
퍼니스 챔버 재료 1700도 등급 알루미나 세라믹 섬유질 내화물 챔버
입구 가스/분위기 양방향 MFC 공기 흡입 시스템, 최대 양압이 0.02Mpa를 초과하지 않음
가스 제어 사진 속 제품은 공기 흡입구와 배기구가 있으며 볼 밸브가 달려있습니다. 양쪽 끝을 진공 펌프에 연결하거나 유량계를 추가할 수 있습니다.
진공 시스템 2-단 로터리 베인 펌프
최대 압력: 5*10^-2 Pa
퍼니스의 최대 진공: 10 Pa
벨로우즈, 볼 밸브 및 클램프를 사용한 밀봉 연결
밀봉 방식 장비 케이스는 탄소강과 304 스테인리스강 플랜지로 제작되어 개방형이며 설치 및 제거가 쉽습니다. 케이싱은 산화, 산, 알칼리에 강하고 이중 밀봉 기능을 갖추고 있습니다.
온도 제어 보안 30개의 프로그래밍 가능한 PID 자체 조정, 자동 온도 상승, 자동 온도 하강, 의무 없음 기능을 갖춘 국제 고급 yudian 518P 온도 컨트롤러를 채택하십시오.
온도 조절기 터치스크린 모델. 고급 온도 계측기를 채택하여 높은 온도 제어 정확도, SSR 제어, PID 매개변수 자체 조정 기능을 갖춘 50개의 세그먼트 프로그램을 설정할 수 있습니다.{2}} 프로그램 온도 상승, 프로그램 보온, 프로그램 냉각

표준 액세서리

석영 튜브|SS 플랜지|진공 펌프|열 장갑|도가니 집게|열전대|사용자 설명서 |도구 |

인증:CE, ISO, SGS 요법, 30개 이상의 특허 인증
보증:1-년 보증(착용 부품 제외) 및 장기-기술 지원

 

 

제품 세부정보
 

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회사소개

 

우리는 고온로 전문가입니다

이 회사는 실험실 고온 전기로 설계 분야의 세계적인 선두업체로 인정받고 있으며 뛰어난 품질의 제품과 서비스를 제공합니다.

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인증

 

명예와 자격
 
 

공식 인증, 전문 애프터 서비스.

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CE

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CE

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CE

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ISO9001

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SGS

사용상의 주의사항:
퍼니스 튜브의 가스 압력은 0.02MPa보다 높을 수 없습니다.
·가스 실린더 내부의 가스 압력이 높기 때문에 가스가 화로 튜브에 유입될 때 가스 실린더에 감압 밸브를 설치해야 합니다. 안전을 위해 0.02MPa 이하의 압력을 사용하는 것을 권장합니다. 당사에서 감압밸브를 구입하실 것을 권장합니다. 당사 감압밸브의 범위는 0.01MPa~0.1MPa로 사용시 더욱 정확하고 안전합니다. 노 본체 온도가 1000도보다 높으면 노 튜브는 진공 상태에 있을 수 없으며 노 튜브의 가스 압력은 대기압과 동일해야 합니다.
·가열된 석영 튜브에 차가운 공기 흐름의 영향을 피하기 위해 퍼니스 튜브에 들어가는 가스 유량은 200SCCM 미만이어야 합니다.
·석영관의-장기 사용 온도는 다음과 같습니다.<1100℃.
·샘플 가열 실험의 경우, 퍼니스 튜브의 플랜지 끝 부분에 있는 배기 밸브와 공기 흡입 밸브를 닫는 것은 권장하지 않습니다. 샘플을 가열하기 위해 가스 밸브를 닫아야 하는 경우 항상 압력 게이지에 주의를 기울여야 합니다. 압력 판독값이 0.02MPa보다 큰 경우 사고(예: 노 튜브 파열, 플랜지 튀어나옴 등)를 방지하기 위해 즉시 에어 릴리프 밸브를 열어야 합니다.

 

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